为什么罗茨真空泵配合前级泵?

2019年10月7日15:26:30 发表评论 24 views
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为什么罗茨真空泵配合前级泵?罗茨真空泵通常分为两种,一种为干式罗茨真空泵,一种为湿式罗茨真空泵。湿式罗茨真空泵不配备前级泵,而干式罗茨真空泵则要配前级泵组合成机组。故此,在提到运用时,必然会要联系到罗茨真空泵机组。

组合成罗茨真空泵机组,罗茨真空泵与前级泵的抽速比的选取的是很关键的。如前所述,罗茨真空泵的压缩比很有限的。当入口处压强在100Torr一直到大气压时,压缩比为2.15;当入口处压强为10的负一次方Torr,压缩比可以达到40。

为什么罗茨真空泵配合前级泵?

罗茨真空泵

在考虑机组组成时,最先要考虑到罗茨真空泵入口处压强范围,假定是10Torr,能知最大的容许压缩比为8。这一压缩比决定了若前级泵的容量,因压缩比是二者抽速的反比。通常压缩比在2-10内选取的。
此外,应该考虑到对预抽时间的要求。真空设备是充当辅助机器设备运用于各类设备中的,假如正常工
作时间段远比预抽时间长,可选择较小的前级泵(压缩比可大点)•倘若真空室比较大,并且要很快的预抽,就用比较大的前级泵。有时候为了能充分发挥机器设备的效率,机组前配有一台比较大的预抽泵,工作一切正常后再关闭它为了能提升真空度,有时候把两个罗茨真空泵串联运用,选二者的抽速比为2:5。假如压缩比选大了,前级泵就比较小 ,不益于系统的预抽,并且当第一级罗茨真空泵反压强提升时,易于导致第二级罗茨真空泵过载。

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